| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR WET OXIDATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10223623(A) |
申请公布日期 |
1998.08.21 |
| 申请号 |
JP19970043050 |
申请日期 |
1997.02.12 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
INOKUCHI YASUHIRO;IKEDA FUMIHIDE |
| 分类号 |
H01L21/31;C30B33/00;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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