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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10223769(A) 申请公布日期 1998.08.21
申请号 JP19970020234 申请日期 1997.02.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NARA YASUO
分类号 H01L29/78;H01L21/8234;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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