发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10223648(A) 申请公布日期 1998.08.21
申请号 JP19970019138 申请日期 1997.01.31
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 OISHIBASHI YASUO;SANO YOSHIAKI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8224;H01L27/082;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/822 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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