| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10223543(A) |
申请公布日期 |
1998.08.21 |
| 申请号 |
JP19970025505 |
申请日期 |
1997.02.07 |
| 申请人 |
NIPPON SANSO KK |
发明人 |
AKUTSU NAKAO;AOYAMA KAZUHIRO;INAISHI YOSHIAKI;WAKI ICHITARO |
| 分类号 |
C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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