| 发明名称 |
CONTACT PROBE AND ITS MANUFACTURE AND PROBE APPARATUS HAVING THE CONTACT PROBE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10221371(A) |
申请公布日期 |
1998.08.21 |
| 申请号 |
JP19970025600 |
申请日期 |
1997.02.07 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
UEKI MITSUYOSHI;ISHII TOSHINORI;MATSUDA ATSUSHI;YOSHIDA HIDEAKI;TACHIKAWA NOBUYOSHI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/073;H01L21/60;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
