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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Belichtung einer fotoempfindlichen Schicht mit einem Leitungsbild fuer elektrische Halbleiter-Schaltvorrichtungen
摘要
申请公布号 DE1522119(A1) 申请公布日期 1969.08.07
申请号 DE19661522119 申请日期 1966.12.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 EUGENE HARDING,WILLIAM;ANTHONY PERRI,JOHN;RISEMAN,JACOB;SCOTT RUDER,WINFIELD
分类号 G03B27/32;G03B19/02;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
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