Verfahren zur Herstellung metrologischen Strukturen besonders geeignet für die Bestimmung der Präzision in Vorrichtungen, die den Abstand auf bearbeiteten Substraten messen
摘要
申请公布号
DE69226234(D1)
申请公布日期
1998.08.20
申请号
DE19926026234
申请日期
1992.08.25
申请人
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L., AGRATE BRIANZA, MAILAND/MILANO, IT
发明人
CANESTRARI, PAOLO, I-22055 MERATE (PROV. OF COMO), IT;LIETTI, CARLO, I-21052 BUSTO ARSIZIO (PROV. OF VARESE), IT;RIVERA, GIOVANNI, STIVIERE (PROV. OF MANTOVA), IT
