发明名称 PLASMAANLAGE
摘要
申请公布号 DE59502853(D1) 申请公布日期 1998.08.20
申请号 DE19955002853 申请日期 1995.11.23
申请人 ARPLAS GESELLSCHAFT FUER PLASMATECHNOLOGIE MBH, 06369 WEISANDT-GOELZAU, DE 发明人 BERGER, STEFFEN, D-40625 DUESSELDORF, DE;MESSELHAEUSER, JOHANNES, D-72076 TUEBINGEN, DE;SCHOENHERR, WALTER, D-53773 HENNEF, DE
分类号 B01J19/12;B29C59/14;C08J3/28;(IPC1-7):B01J19/12 主分类号 B01J19/12
代理机构 代理人
主权项
地址