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发明名称
摘要
申请公布号 JP2789171(B2) 申请公布日期 1998.08.20
申请号 JP19940314315 申请日期 1994.11.25
申请人 HANDOTAI ENERUGII KENKYUSHO KK 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 H01L21/268;H01L21/20;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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