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发明名称
摘要
申请公布号 JP2788845(B2) 申请公布日期 1998.08.20
申请号 JP19930251323 申请日期 1993.10.07
申请人 KYUSHU NIPPON DENKI KK 发明人 MATSUOCHI KAZUNORI
分类号 H01L21/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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