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发明名称
摘要
申请公布号
JP2788763(B2)
申请公布日期
1998.08.20
申请号
JP19890213945
申请日期
1989.08.19
申请人
FUJITSU KK
发明人
YOSHIKAWA SATOSHI
分类号
H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118;(IPC1-7):H01L27/118
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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