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发明名称 Herstellverfahren für eine erhabene Kondensatorelektrode
摘要
申请公布号 DE19705352(A1) 申请公布日期 1998.08.20
申请号 DE19971005352 申请日期 1997.02.12
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 MAZURE, CARLOS, DR.RER.NAT., 85614 KIRCHSEEON, DE;WEINRICH, VOLKER, DR.RER.NAT., 81549 MUENCHEN, DE
分类号 H01L21/8247;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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