发明名称 Manufacturing method for a multigate thin film transistor
摘要
申请公布号 EP0494628(B1) 申请公布日期 1998.08.19
申请号 EP19920100128 申请日期 1992.01.07
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 KONDO, SHIGEKI
分类号 H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/772 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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