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发明名称 A METHOD FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF TITANIUM NITRIDE FILMS AT LOW TEMPERATURES
摘要
申请公布号 EP0723601(A4) 申请公布日期 1998.08.19
申请号 EP19940919971 申请日期 1994.03.25
申请人 MATERIALS RESEARCH CORPORATION 发明人 FOSTER, ROBERT F.;HILLMAN, JOSEPH T.
分类号 C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/34;C23C16/46 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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