发明名称 WORK METHOD AND WORK DEVICE OF DISK SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH10217077(A) 申请公布日期 1998.08.18
申请号 JP19970017140 申请日期 1997.01.30
申请人 KURAMOTO SEISAKUSHO:KK 发明人 MATSUMOTO YASUSHI
分类号 B24B7/04;(IPC1-7):B24B7/04 主分类号 B24B7/04
代理机构 代理人
主权项
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