| 发明名称 |
HIGH PURIFICATION OF SILICON NITRIDE POWDER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10218613(A) |
申请公布日期 |
1998.08.18 |
| 申请号 |
JP19970034383 |
申请日期 |
1997.02.03 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
MAKI YASUYUKI;SHINDO TOSHIHIKO |
| 分类号 |
C01B21/068;(IPC1-7):C01B21/068 |
主分类号 |
C01B21/068 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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