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发明名称 METHOD OF CONTACT HOLE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0144912(B1) 申请公布日期 1998.08.17
申请号 KR19950004382 申请日期 1995.03.03
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 KIM, INN-CHOL
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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