| 发明名称 |
Control System for Vapour-Deposition Coating apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1168813(A) |
申请公布日期 |
1969.10.29 |
| 申请号 |
GB19660048945 |
申请日期 |
1966.11.01 |
| 申请人 |
UNITED STATES STEEL CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/30;C23C14/54;C23C14/56;H01J37/304;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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