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发明名称 OVERLAY TEST PATTERN
摘要
申请公布号 KR0143576(B1) 申请公布日期 1998.08.17
申请号 KR19950006704 申请日期 1995.03.28
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 PARK, SANG-HOON
分类号 H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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