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经营范围
发明名称 METAL SPUTTERING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR0122306(Y1) 申请公布日期 1998.08.17
申请号 KR19920003803U 申请日期 1992.03.10
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 LEE, KANG-JIK
分类号 H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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