전계방출소자 내의 NEG 게터 형성구조

摘要

본 고안은 FED 내의 NEG 게터 형성구조에 관한 것으로, 게터 활성화의 편리성과 대면적으로 게터 형성 가능토록 하기 위해, 상, 하 기판(1,1A)에 설치하는 패드전극(2)과, 게터활성화용 전극(2)에 설치하는 전극(6)과, 그리고 실링라인(5)의 양쪽으로 상기 전극(6) 사이에 설치하는 NEG 게터(3)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.