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发明名称 SUSCEPTOR FOR LOW PRESSURE CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0148714(B1) 申请公布日期 1998.08.17
申请号 KR19950023668 申请日期 1995.08.01
申请人 HWANG, CHOL-JOO 发明人 HWANG, CHOL-JOO
分类号 C30B25/00;(IPC1-7):C30B25/00 主分类号 C30B25/00
代理机构 代理人
主权项
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