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发明名称 FUZZY GAS SUPPLIER
摘要
申请公布号 KR0122307(Y1) 申请公布日期 1998.08.17
申请号 KR19940029280U 申请日期 1994.11.04
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 LEE, DUK-HEE
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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