发明名称 MANUFACTURE METHOD OF SILICON-ON-INSULATOR STRUCTURE
摘要
申请公布号 KR0142797(B1) 申请公布日期 1998.08.17
申请号 KR19940013740 申请日期 1994.06.17
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 KIM, SUNG-SOO
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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