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发明名称 METHOD FOR MAKING PATTERN OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR0144430(B1) 申请公布日期 1998.08.17
申请号 KR19940018403 申请日期 1994.07.28
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 JANG, HYUN-JIN;OH, SE-JOON;LEE, WOO-BONG;MOON, YOUNG-HWA;CHON, YOUNG-HO;KO, JAE-WAN;KOO, YOUNG-MO
分类号 H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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