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发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING CRYGENIC AEROSOL
摘要
申请公布号 KR0145028(B1) 申请公布日期 1998.08.17
申请号 KR19940029903 申请日期 1994.11.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP 发明人 BAUER TIBOR LOUIS;DART II CHARLES RICHARD;LINNELL DAVID CLYDE;CAVALIERE WILLIAM ALBERT;FREEBERN TIMOTHY HARRISON;MILLER JAMES M;WU JIN JWANG
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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