发明名称 BARRIER METAL CONTACT ARCHITECTURE
摘要
申请公布号 KR0145419(B1) 申请公布日期 1998.08.17
申请号 KR19910022664 申请日期 1991.12.11
申请人 SAMSUNG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 THALAPANENI, GURUNADA
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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