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发明名称 METHOD OF FORMING A METAL OXIDE FILM
摘要
申请公布号 KR0139876(B1) 申请公布日期 1998.08.17
申请号 KR19940023003 申请日期 1994.09.13
申请人 TOSHIBA KK. 发明人 KIYOTOSHI, MASAHIRO;IMAI, KEITAROU;OKANO, HARUO
分类号 C23C16/40;H01L21/8242;H01L21/8246;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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