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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES KONTAKTLOCHS ZU EINEM DOTIERTEN BEREICH
摘要
申请公布号 AT168500(T) 申请公布日期 1998.08.15
申请号 AT19930105780T 申请日期 1993.04.07
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WINNERL, JOSEF, DR.;NEUMUELLER, WALTER, DIPL.-PHYS.
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/285;H01L21/321 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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