发明名称 BATCHLADESYSTEM FÜR CVD
摘要
申请公布号 AT169692(T) 申请公布日期 1998.08.15
申请号 AT19950913951T 申请日期 1995.03.17
申请人 SANDVIK AKTIEBOLAG 发明人 NORRGRANN, TOR;PALSSON, KJELL;LJUNGBERG, BJOERN;HESSMAN, INGEMAR
分类号 B23B27/16;C23C16/44;C23C16/458;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/00 主分类号 B23B27/16
代理机构 代理人
主权项
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