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发明名称 PREVENTION APPARATUS FOR SWELLING OF CHEMICAL SUPPLY VESSEL IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURE APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0141514(B1) 申请公布日期 1998.08.17
申请号 KR19940025867 申请日期 1994.10.10
申请人 CO.,LTD 发明人 LEE, KUN-WON
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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