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发明名称 VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERSCHICHTEN MIT DYNAMISCHER DAMPFBEHANDLUNG UND TEILCHENVERFLÜCHTIGUNG
摘要
申请公布号 AT168820(T) 申请公布日期 1998.08.15
申请号 AT19910911521T 申请日期 1991.04.19
申请人 SEMITOOL, INC. 发明人 BERGMAN, ERIC, J.;REARDON, TIMOTHY, J.;THOMPSON, RAYMON, F;OWCZARZ, ALEKSANDER
分类号 H01L21/302;G11B7/26;H01L21/00;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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