| 摘要 |
<p>본 고안은 반도체 제조장비의 웨이퍼 지지용 클램프 조립체에 관한 것으로, 소모성 부품인 플런저, 와셔 및 리테이너의 파손을 방지함과 아울러 클램프의 유격을 최소화할 수 있도록 한 것이다. 이러한 본 고안은 챔버의 전극 위에 놓인 웨이퍼의 양측 가장자리를 지지하는 원호상 지지부를 갖는 한 쌍의 클램프와, 상기 클램프를 전극에 대하여 승,강 가능하게 지지하는 플런저와, 상기 플런저와 클램프를 연결하기 위한 와셔 및 리테이너와, 상기 플런저를 챔버 상부의 세라믹 디스크에 연결, 설치하는 것으로써 클램프의 승,하강 동작을 완충시키는 스프링을 포함하는 반도체 제조장비의 웨이퍼 지지용 클램프 조립체에 있어서, 상기 플런저, 와셔 및 리테이너는 강도 및 충격에 강한 양극 산화 처리된 알루미늄 재질로 형성되며, 동시에 상기 와셔는 그의 플런저 삽입홀을 따라 소정 높이의 돌기부가 형성되어 구성된다.</p> |
