A method of producing thin silicon epitaxial films,申请号AU1998PP04751-传众专利搜索

发明名称	A method of producing thin silicon epitaxial films
摘要
申请公布号	AUPP475198(D0)	申请公布日期	1998.08.13
申请号	AU1998PP04751	申请日期	1998.07.20
申请人	AUSTRALIAN NATIONAL UNIVERSITY, THE	发明人
分类号		主分类号
代理机构		代理人
主权项
地址