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发明名称
摘要
申请公布号 JP2785841(B2) 申请公布日期 1998.08.13
申请号 JP19950503771 申请日期 1993.07.06
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 GAABAA KURISHUTOFU;GIMUTSUEUESUKI YAMESU KATSUIMIEERUTSU;RAIIRU BURUUNO;SHURITSUTORAA REETO RUDORUFU
分类号 G01J3/42;G01N25/22;G01N13/10;G01N13/16;G01N21/27;G01N25/34;G01N25/36;G01N25/48;G01N27/00;G01N37/00;H01H1/00;H01H37/52;H01L41/08;(IPC1-7):G01N25/34 主分类号 G01J3/42
代理机构 代理人
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