| 发明名称 |
Apparatus and method for cooling a substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0780885(A3) |
申请公布日期 |
1998.08.12 |
| 申请号 |
EP19960117496 |
申请日期 |
1996.10.31 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
NGAN, KENNY KING-TAI;MAROHL, DAN |
| 分类号 |
H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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