发明名称 Quasi-infinite heat source/sink
摘要
申请公布号 EP0651424(B1) 申请公布日期 1998.08.12
申请号 EP19940117081 申请日期 1994.10.28
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 WHITE, GREGORY W.
分类号 H01L21/302;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/683;(IPC1-7):H01J37/32;H01J37/20;G05D23/20 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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