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发明名称 Improvements in or relating to micromechanical devices
摘要
申请公布号 EP0793129(A3) 申请公布日期 1998.08.12
申请号 EP19970103245 申请日期 1997.02.27
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 KNIPE, RICHARD L.;CARTER, DUANE E.;WHITE, LIONEL S.
分类号 G02B26/08;H02N1/00;(IPC1-7):G02B26/08 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
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