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发明名称 300mm MICROENVIRONMENT POD WITH DOOR ON SIDE
摘要
申请公布号 EP0857150(A1) 申请公布日期 1998.08.12
申请号 EP19950935679 申请日期 1995.10.13
申请人 EMPAK, INC. 发明人 GREGERSON, BARRY;WISEMAN, BRIAN;GALLAGHER, GARY
分类号 B65D85/48;B65D;G11B33/04;G11B33/14;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):B65D85/48 主分类号 B65D85/48
代理机构 代理人
主权项
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