发明名称 |
Aligning optical elements on a substrate |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2321974(A) |
申请公布日期 |
1998.08.12 |
申请号 |
GB19980002386 |
申请日期 |
1998.02.04 |
申请人 |
* OKI ELECTRIC INDUSTRY CO LIMITED |
发明人 |
YOSHIMASA * HIRANO |
分类号 |
G02B6/36;G02B6/42;G03F7/20;H01L21/027;H01L31/0232;H01L31/12;H01L33/62;H01S5/00;(IPC1-7):G02B6/42 |
主分类号 |
G02B6/36 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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