| 主权项 |
1.一种接触探针,系复数之图案配线被形成于薄膜 上,这些图案配线之各先端部由前述薄膜突出的状 态被配置而作为接触针之接触探针,其特征为: 前述薄膜上,张贴有金属薄膜。2.如申请专利范围 第1项之接触探针,其中,至少前述接触针,系以镍锰 合金所形成,该镍锰合金之锰含量系在0.05重量百 分比到1.5重量百分比的范围内。3.如申请专利范 围第1项之接触探针,其中,前述接触针系于其途中 位置被折屈的。4.如申请专利范围第3项之接触探 针,其中,前述接触针的先端部,在接触测定对象物 时与其接触面所夹之角度为60度以上未满90度而被 构成,该接触针的基端部,与前述接触面所夹之角 度在0度以上30度以下而被构成的。5.一种探针装 置,系将申请专利范围第4项所记载之接触探针,固 定于具有接续于前述图案配线的各基端之端子的 基板而成的探针装置,其特征为: 前述探针装置,具有对于测定对象物的接触面系以 0度以上30度以下的角度逐渐向先端侧下方倾斜之 下面之倾斜保持构件, 前述接触探针,前述薄膜的先端侧系以抵接于前述 倾斜保持构件的下面的状态被支撑的。6.如申请 专利范围第1项之接触探针,其中,系由具有前述各 先端部的复数的主图案配线所被形成的接触探针 本体,及由该探针本体分歧而一体形成的接触探针 分歧部所构成, 该接触探针分歧部,具有前述主图案配线之一部份 被分歧分割而形成的分歧图案配线。7.一种探针 装置,系由申请专利范围第6项所记载之接触探针, 及具有前述主图案配线与前述分歧图案配线之途 中或者是后端侧分别被接续于接触状态的复数的 基板侧图案配线之配线用基板,及支撑前述各先端 部之支撑构件所构成的。8.如申请专利范围第7项 之探针装置,其中,前述配线用基板,具有配置前述 接触探针之矩形开口部,前述接触探针之复数先端 部,沿着前述矩形开口部的对角线排列,前述接触 探针本体以及前述接触探针分歧部,系被分别分配 于相对于前述对角线的方向的前述矩形开口部的2 边上, 前述主图案配线以及前述分歧图案配线,在被分配 的先前的前述基板侧图案配线上分别接续于接触 状态。9.如申请专利范围第7项之探针装置,其中, 前述配线用基板,其表面以及背面分别被形成前述 基板侧图案配线, 前述接触探针本体以及前述接触探针分歧部,将任 一方之一部份折反而分别分配于前述配线用基板 的表面及背面, 前述主图案配线以及前述分歧图案配线,于被分配 的先前的前述基板侧图案配线上分别接续于接触 状态。10.如申请专利范围第1项之接触探针,其中, 由具有前述各先端部之复数之主图案配线所被形 成之接触探针本体,及一部份张贴接续于该接触探 针本体之至少一个分歧配线板所构成, 该分歧配线板,系被形成有以接触状态被接续于前 述复数之主图案配线之中的一部份之分歧图案配 线。11.一种探针装置,系具备有:申请专利范围第10 项所记载之接触探针,及前述主图案配线以及前述 分歧图案配线的途中或者是后端侧分别被接续于 接触状态的复数的基板侧图案配线之配线用基板, 及支撑前述各先端部之支撑构件, 前述配线用基板,于其表面以及背面分别形成前述 基板侧图案配线, 前述接触探针本体以及前述分歧配线板,系分别被 分配于前述配线用基板之表面以及背面, 前述主图案配线以及前述分歧图案配线,系分别以 接触状态被接续于被分配的先前的前述基板侧图 案配线。12.一种接触探针,其特征为: 复数之第1图案配线被形成于薄膜上,由该薄膜的 一方之先端部,这些第1图案配线的各先端部被配 置于突出状态而被作为接触真的第1接触探针,及 与前述第1图案配线连接的复数第2图案配线被形 成于薄膜上之第2接触探针,系分别被形成而连结 的。13.如申请专利范围第12项所记载之接触探针, 其中前述第1图案配线系较密地被形成, 前述第2图案配线系于与前述第1图案配线连接处 的附近以较高的密度被形成,同时由前述附近位置 离开较远的位置系以较低的密度被形成的。14.如 申请专利范围第12项所记载之接触探针,其中,前述 第1图案配线于前述先端部系以较密的密度被形成 ,同时与另外一端以较疏的密度被形成, 前述第2图案配线系以较疏的密度被形成,于前述 另一端则是与前述第1图案配线连接。15.如申请专 利范围第12项所记载之接触探针,其中,前述第1接 触探针,与前述第2接触探针相比,其形成之面积较 小。16.如申请专利范围第12项所记载之接触探针, 其中,前述第1接触探针与前述第2接触探针之关系 是,其第1接触探针之前述第1配线图案所形成之面 与前述第2接触探针之前述第2配线图案所形成之 面系相向,而藉由异方性导电胶带而接着在一起的 。17.一种探针装置,系将复数之申请专利范围第1 项所记载之接触探针,其接触针之轴线对于测定对 象物之接触面系以约略成为垂直而配设的,而且这 些薄膜的各面之间设有间隔而并列设置。18.一种 接触探针,系构成如申请专利范围第17项所记载之 探针装置之接触探针, 前述复数之接触针,在受到屈曲荷重时其弯曲的方 向系约略一定的。19.如申请专利范围第18项所记 载之接触探针,其中前述复数之接触针,其轴线方 向之屈曲点的位置系约略一定的。20.如申请专利 范围第18项所记载之接触探针,其中位于前述接触 针的轴线方向特定位置的内侧的前述金属薄膜上, 被施以半蚀刻。图式简单说明: 第一图系显示本发明相关之接触探针之第1实施形 态之重要部位扩大斜视图。 第二图系第一图之A-A线断面图。 第三图系本发明相关之接触探针之第1实施形态之 制造方法以工程顺序显示之重要部位扩大斜视图 。 第四图系显示本发明相关之接触探针之第1实施形 态之变形例之断面图。 第五图系显示本发明相关之接触探针之第2实施形 态之扩大模式图。 第六图系第五图之A-A线断面图。 第七图系本发明相关之接触探针之第2实施形态之 探针装置(晶片载具)之分解斜视图。 第八图系本发明相关之接触探针之第2实施形态之 探针装置(晶片载具)之外观斜视图。 第九图系第八图的重要部位被扩大的B-B线断面图 。 第十图系显示本发明相关之接触探针之第3实施形 态之重要部位斜视图。 第十一图系显示本发明相关之接触探针之第3实施 形态之平面图。 第十二图系第十一图之C-C线断面图。 第十三图系显示将本发明相关之接触探针之第3实 施形态组装进来之探针装置之一例之分解斜视图 。 第十四图系显示将本发明相关之接触探针之第3实 施形态组装进来之探针装置之一例之重要部位斜 视图。 第十五图系第十四图之E-E线断面图。 第十六图系显示本发明相关之接触探针之第4实施 形态之接触探针之斜视图。 第十七图系第十六图之F-F线断面图。 第十八图系显示本发明相关之接触探针之第4实施 形态之接触探针挟持体的分解斜视图。 第十九图系显示本发明相关之探针装置之第4实施 形态之斜视图。 第二十图系显示本发明相关之探针装置之第4实施 形态之接触探针挟持体之斜视图。 第二十一图系第十九图之X-X线断面图。 第二十二图系相关于本发明之探针装置的第5实施 形态之从前的接触探针的缺点之侧面图。 第二十三图系相关于本发明之探针装置的第5实施 形态之从前的探针装置的缺点之侧面图。 第二十四图系显示将本发明相关之探针装置之第5 实施形态之被组装进接触探针挟持体之接触探针 之侧面图。 第二十五图系关于本发明之接触探针之第6实施形 态之第十六图D方向的箭视图。 第二十六图系本发明相关之接触探针之第6实施形 态之侧面图。 第二十七图系本发明相关之探针装置之第7实施形 态之被组装入接触探针挟持体的接触探针之侧面 图。 第二十八图系本发明相关之探针装置之第8实施形 态之接触探针之侧面图。 第二十九图系本发明相关之探针装置之第8实施形 态之被组装入接触探针挟持体的接触探针之侧面 图。 第三十图系本发明相关之探针装置之第9实施形态 之接触探针之侧面图。 第三十一图系本发明相关之探针装置之第9实施形 态之被组装入接触探针挟持体的接触探针之侧面 图。 第三十二图系本发明相关之探针装置之第10实施 形态之接触探针之侧面图。 第三十三图系本发明相关之探针装置之第10实施 形态之被组装入接触探针挟持体的接触探针之侧 面图。 第三十四图系本发明相关之接触探针的先端部之 锰浓度与硬度之关系图。 第三十五图系本发明相关之接触探针的第11实施 形态之接触针之扩大侧面图。 第三十六图系本发明相关之接触探针的第11实施 形态之重要部位斜视图。 第三十七图系本发明相关之接触探针的第11实施 形态之断面图。 第三十八图系被组装入本发明相关之接触探针的 第11实施形态之探针装置的断面图。 第三十九图系本发明相关之探针装置的第12实施 形态之接触探针之斜视图。 第四十图系第三十九图之A-A线断面图。 第四十一图系显示本发明相关之探针装置之第13 实施形态所相关之从前的接触探针的缺点的侧面 图。 第四十二图系显示本发明相关之接触探针之第13 实施形态所相关之从前的接触探针的缺点的侧面 图。 第四十三图系显示本发明相关之探针装置之第13 实施形态之探针装置的侧面图。 第四十四图系关于本发明之接触探针之第14实施 形态之第三十九图D方向的箭视图 第四十五图系本发明相关之接触探针的第14实施 形态之接触探针之侧面图。 第四十六图系本发明相关之探针装置之第15实施 形态之探针装置之侧面图。 第四十七图系本发明相关之探针装置之第16实施 形态之接触探针之侧面图。 第四十八图系本发明相关之探针装置之第16实施 形态之探针装置之侧面图。 第四十九图系本发明相关之探针装置之第17实施 形态之接触探针之侧面图。 第五十图系本发明相关之探针装置之第17实施形 态之探针装置之侧面图。 第五十一图系本发明相关之探针装置之第18实施 形态之接触探针之侧面图。 第五十二图系本发明相关之探针装置之第18实施 形态之探针装置之侧面图。 第五十三图系将本发明先关之接触探针之第19实 施形态组装进去之探针装置之探针装置之分解斜 视图。 第五十四图系本发明相关之接触探针之第19实施 形态之主图案配线以及分歧图案配线之连接之平 面图。 第五十五图系将本发明相关之接触探针之第20实 施形态组装进去之探针装置之探针装置之概略平 面图。 第五十六图系显示本发明相关之接触探针之第21 实施形态之平面图。 第五十七图系将本发明相关之接触探针之第21实 施形态组装进去之探针装置之重要部位断面图。 第五十八图系显示本发明相关之探针装置之第22 实施形态之从前的接触探针的缺点之断面图。 第五十九图系显示本发明相关之探针装置之第22 实施形态之从前的探针装置的缺点之断面图。 第六十图系本发明相关之探针装置之第22实施形 态之断面图。 第六十一图系以直角相对于本发明相关之接触探 针之第23实施形态之接触针的方向的断面图。 第六十二图系本发明相关之接触探针之第23实施 形态之断面图。 第六十三图系本发明相关之探针装置之第24实施 形态之探针装置之断面图。 第六十四图系本发明相关之探针装置之第25实施 形态之接触探针之断面图。 第六十五图系本发明相关之探针装置之第25实施 形态之断面图。 第六十六图系将本发明相关之接触探针之第26实 施形态组装进入之探针装置之底面图。 第六十七图系第六十六图之X-X线箭视断面图。 第六十八图系显示将本发明相关之接触探针之第 26实施形态组装进入之探针装置之主图案配线以 及分歧图案配线的连接之平面图。 第六十九图系第六十六图之Y-Y线箭视断面图。 第七十图系第六十六图的Z-Z线箭视断面图。 第七十一图系关于本发明相关之探针装置之第27 实施形态的从前的接触探针的缺点之断面图。 第七十二图系关于本发明相关之探针装置之第27 实施形态的从前的探针装置的缺点之断面图。 第七十三图系本发明相关之探针装置之第27实施 形态之断面图。 第七十四图系关于本发明相关之接触探针的第28 实施形态之接触针的直角相交方向的断面图。 第七十五图系本发明相关之接触探针之第28实施 形态之断面图。 第七十六图系本发明相关之探针装置之第29实施 形态之探针装置之断面图。 第七十七图系本发明相关之探针装置之第30实施 形态之接触探针之断面图。 第七十八图系本发明相关之探针装置之第30实施 形态之断面图。 第七十九图系本发明相关之接触探针之第31实施 形态之接触探针之平面图。 第八十图系本发明相关之接触探针之第31实施形 态之侧面图。 第八十一图系显示本发明相关之接触探针之第31 实施形态之使用异方性导电胶带将第1接触探针的 图案配线与第2接触探针之图案配线电气连接之原 理的原理图。 第八十二图系显示本发明相关之接触探针之第31 实施形态之使用异方性导电胶带将第1接触探针的 图案配线与第2接触探针之图案配线电气连接之原 理的原理图。 第八十三图系显示在连结本发明之接触探针的第 31实施形态所显示的第1接触探针与第2接触探针以 及机械零件等时的位置决定方法之概略图。 第八十四图系显示本发明相关之接触探针之第32 实施形态之接触探针之平面图。 第八十五图系显示本发明相关之探针装置之第34 实施形态之接触探针之斜视图。 第八十六图系第八十五图之A-A线断面图。 第八十七图系显示本发明相关之探针装置之第35 实施形态之从前的接触探针的缺点之侧面图。 第八十八图系显示本发明相关之探针装置之第35 实施形态之从前的探针装置的缺点之侧面图。 第八十九图系显示本发明相关之探针装置之第35 实施形态之探针装置的侧面图。 第九十图系本发明相关之接触探针之第36实施形 态之相关之第八十五图D方向箭视图。 第九十一图系显示本发明相关之接触探针之第36 实施形态之接触探针之侧面图。 第九十二图系显示本发明相关之探针装置之第37 实施形态之探针装置之侧面图。 第九十三图系显示本发明相关之探针装置之第38 实施形态之接触探针之侧面图。 第九十四图系显示本发明相关之探针装置之第38 实施形态之探针装置之侧面图。 第九十五图系显示本发明相关之探针装置之第39 实施形态之接触探针之侧面图。 第九十六图系显示本发明相关之探针装置之第39 实施形态之探针装置之侧面图。 第九十七图系显示本发明相关之探针装置之第40 实施形态之接触探针之侧面图。 第九十八图系显示本发明相关之探针装置之第40 实施形态之探针装置之侧面图。 第九十九图系显示本发明相关之探针装置之第41 实施形态之重要部位斜视图。 第一○○图系第九十九图之侧面图。 第一○一图系第九十九图之扩大侧面图。 第一○二图(a)系本发明相关之探针装置之第41实 施形态之平面图;(b)系侧面图。 第一○三图系显示本发明相关之接触探针之第41 实施形态之重要部位斜视图。 第一○四图系显示本发明相关之接触探针之第41 实施形态之平面图。 第一○五图系第一○四图之C-C线断面图。 第一○六图系供说明本发明相关之接触探针之第 41实施形态中之金属薄膜用的正面图。 第一○七图系本发明相关之探针装置之第42实施 形态之重要部位扩大侧面图。 第一○八图系显示本发明相关之接触探针之第43 实施形态,(a)系平面图,(b)系P-P线断面图,(c)系Q-Q线 断面图。 第一○九图系本发明相关之接触探针之第45实施 形态之平面图。 第一一○图系显示本发明相关之接触探针之从前 例之重要部位斜视图。 第一一一图系将本发明相关之接触探针之从前例 组装进入探针装置之一例之分解斜视图。 第一一二图系将本发明相关之接触探针之从前例 组装进入探针装置之一例之重要部位斜视图。 第一一三图系第一一二图之E-E线断面图。 第一一四图系第一一○图由B方向来观察之正面图 。 第一一五图系显示垫极端子之配置之型,(a)系周边 配置端子,(b)系面配置端子。 第一一六图系水平针型探针卡片之侧面图。 第一一七图系垂直针型探针卡片之侧面图。 |
