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发明名称 LINEAR PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号 JPH10214700(A) 申请公布日期 1998.08.11
申请号 JP19970031291 申请日期 1997.01.30
申请人 ANELVA CORP 发明人 SUNIRU UIKURAMANAYAKA
分类号 H05H1/46;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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