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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH10212197(A) 申请公布日期 1998.08.11
申请号 JP19970017251 申请日期 1997.01.31
申请人 KYOCERA CORP 发明人 SAKAI HISASHI
分类号 G01N21/63;C23C16/52;C30B25/16;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/16 主分类号 G01N21/63
代理机构 代理人
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