发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10214892(A) 申请公布日期 1998.08.11
申请号 JP19970016909 申请日期 1997.01.30
申请人 SONY CORP 发明人 KAMEOKA KATSUYA
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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