| 发明名称 |
MANUFACTURE AND MANUFACTURE DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10214896(A) |
申请公布日期 |
1998.08.11 |
| 申请号 |
JP19970211979 |
申请日期 |
1997.08.06 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KAJITA AKIHIRO;OYA KATSUHIKO;FUKUHARA SEITA;OTSUKA KENICHI;ITO HITOSHI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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