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经营范围
发明名称
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10214794(A)
申请公布日期
1998.08.11
申请号
JP19970018317
申请日期
1997.01.31
申请人
SONY CORP
发明人
FUJISAWA TOMOTAKA
分类号
H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/331;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/306
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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