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发明名称 SURFACE OBSERVING METHOD BY SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH10213749(A) 申请公布日期 1998.08.11
申请号 JP19970031101 申请日期 1997.01.30
申请人 CANON INC 发明人 YASUDA SUSUMU;YANO KYOJI
分类号 G02B21/00;G01Q10/06;G01Q30/02;G01Q60/04;G01Q60/10;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G02B21/00
代理机构 代理人
主权项
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