| 发明名称 |
REMOVAL OF SILICON-INCLUDING COAT FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10214827(A) |
申请公布日期 |
1998.08.11 |
| 申请号 |
JP19980030609 |
申请日期 |
1998.01.28 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
SCHMALZBAUER KLAUS DR;EICHINGER ANDREAS |
| 分类号 |
H01L21/302;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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