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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10212575(A) 申请公布日期 1998.08.11
申请号 JP19970015631 申请日期 1997.01.29
申请人 SONY CORP 发明人 OOSHIMA YOSHIHIRO;KANEKO KOICHI;MIHASHI SHINOBU
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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