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发明名称
SEMICONDUCTOR THIN FILM, SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号
JPH10209046(A)
申请公布日期
1998.08.07
申请号
JP19970006156
申请日期
1997.01.17
申请人
SHARP CORP
发明人
MAKITA NAOKI
分类号
H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
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